Электроника. Часть 2

7 ПРЕДМЕТ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ .............................................5

7.1 Основные термины и определения ........................................5

8 ЛОГИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ НА БИПОЛЯРНЫХ

ТРАНЗИСТОРАХ ...........................................................................7

8.1 Классификация логических элементов ..................................7

8.2 Основные характеристики и параметры

логических элементов .................................................................9

8.3 Элементы транзисторно-транзисторной логики ...................19

8.4 Элементы эмиттерно-связанной логики................................28

9 ЛОГИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ НА ПОЛЕВЫХ

ТРАНЗИСТОРАХ .........................................................................36

9.1 Инвертор на n-канальных МДП-транзисторах .....................36

9.2 Инвертор на комплементарных транзисторах .....................38

9.3 Логические элементы И-НЕ и ИЛИ-НЕ .................................40

9.4 Логические элементы динамического типа ..........................43

9.5 Приборы с зарядовой связью ...............................................47

9.6 Параметры элементов ПЗС ...................................................57

9.7 Разновидности конструкций .................................................60

10 Технологические основы микроэлектроники ........................65

10.1 Общие сведения о технологии изготовления

полупроводниковых микросхем ................................................65

10.2 Эпитаксия ...........................................................................67

10.3 Диффузия примесей............................................................68

10.4 Ионное легирование ..........................................................72

10.5 Термическое окисление и свойства пленки диоксида

кремния .....................................................................................75

10.6 Травление ..........................................................................77

10.7 Методы получения структур типа Si-SiO2-Si .......................80

10.8 Проводники соединений и контакты

в полупроводниковых микросхемах ..........................................82

10.9 Литография ........................................................................83

11 ТРАНЗИСТОРЫ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ .....................91

11.1 Особенности структур биполярных транзисторов .............91

11.2 Транзисторы с комбинированной изоляцией ....................97

11.3 Многоэмиттерные транзисторы .......................................100

11.4 Транзисторы с диодом Шоттки ........................................101

11.5 Диодное включение транзистора ....................................102

11.6 Модель интегрального биполярного транзистора .......... .106

11.7 Полевые транзисторы с управляющим переходом

металл-полупроводник ...........................................................108

12 ПАССИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ....................................................112

12.1 Полупроводниковые резисторы ......................................113

12.2 Пленочные резисторы .....................................................117

12.3 Конденсаторы ..................................................................117

РЕКОМЕНДУЕМАЯ ЛИТЕРАТУРА ..............................................120