Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем, 2023

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2023 года

Кафедра физической электроники

Авторы:   Чистоедова И. А. и Смирнов С. В.
Год издания: 2023

Основная литература

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: Учебное пособие / Смирнов С. В. — 2010. 115 с.

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: Учебное пособие / Чистоедова И. А., Данилина Т. И. — 2011. 98 с.

Методы исследования материалов и структур электроники : учебное пособие / С. В. Смирнов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 170[1] с.
Доступно в библиотеке: 91 экземпляр

Дополнительная литература

Газенаур, Е. Г. Методы исследования материалов : учебное пособие / Е. Г. Газенаур, Л. В. Кузьмина, В. И. Крашенинин. — Кемерово : КемГУ, 2013. — 336 с. — ISBN 978-5-8353-1578-9. — Текст : электронный // Лань : электронно-библиотечная система. — URL: https://e.lanbook.com/book/44317 . — Режим доступа: для авториз. пользователей.

Учебно-методическое пособие

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : лаб. практикум / С.В. Смирнов. – Томск : Томск. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники, 2021. – 97 с.

Смирнов С.В., Чистоедова И.А. Методы исследований материалов и структур электроники: Учебно-методическое пособие. Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2023. 53 с.

Дисциплины

+

Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: Б1.В.02.15

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 4

Семестр: 7

Учебный план набора 2023 года

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос