Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем

28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике)

Очная форма обучения, план набора 2023 г.

Изучается: 7 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.02.15

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Рабочая программа

Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем: Рабочая программа учебной дисциплины «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем»/ Чистоедова И. А., Смирнов С. В. ‐ 2023

Основная литература

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: Учебное пособие / Смирнов С. В. — 2010. 115 с.

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: Учебное пособие / Чистоедова И. А., Данилина Т. И. — 2011. 98 с.

Методы исследования материалов и структур электроники : учебное пособие / С. В. Смирнов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 170[1] с.
Доступно в библиотеке: 91 экземпляр

Дополнительная литература

Газенаур, Е. Г. Методы исследования материалов : учебное пособие / Е. Г. Газенаур, Л. В. Кузьмина, В. И. Крашенинин. — Кемерово : КемГУ, 2013. — 336 с. — ISBN 978-5-8353-1578-9. — Текст : электронный // Лань : электронно-библиотечная система. — URL: https://e.lanbook.com/book/44317 . — Режим доступа: для авториз. пользователей.

Учебно-методическое пособие

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : лаб. практикум / С.В. Смирнов. – Томск : Томск. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники, 2021. – 97 с.

Смирнов С.В., Чистоедова И.А. Методы исследований материалов и структур электроники: Учебно-методическое пособие. Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2023. 53 с.


Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Экзамен 7

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Лекционные занятия3636часов
↳ из них практическая подготовка1818часов
Практические занятия1818часов
Лабораторные занятия1616часов
↳ из них практическая подготовка1616часов
Самостоятельная работа3838часов
↳ из них практическая подготовка0часов
Подготовка и сдача экзамена/зачета3636часов
Общая трудоемкость144144часов
44З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-2 Готов проводить экспериментальные исследования по синтезу и анализу материалов и компонентов нано- и микросистемной техники

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос