Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Основы вакуумной техники, 2022

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2021 года

Кафедра физической электроники

Автор:   Жидик Ю. С.
Год издания: 2022

Основная литература

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебное пособие / Данилина Т. И. — 2012. 89 с.

Дополнительная литература

Основы вакуумной техники, технологии: учеб. пособие / А.Н. Ярмонов. - Пермь: Изд-во Перм. гос. техн. ун-та, 2010. - 174 с.

Учебно-методическое пособие

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» / Данилина Т. И. — 2013. 20 с.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направлений 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» / Данилина Т. И. — 2013. 28 с.

Дисциплины

+

Основы вакуумной техники

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: ФТД.В.03

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 2

Семестр: 4

Учебный план набора 2021 года

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос