Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2020 года
Кафедра физической электроники
Основная литература
Дополнительная литература
Дисциплины
Основы вакуумной техники
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.02.03
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 2
Семестр: 4
Учебный план набора 2020 года