Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур, 2018

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике (очная форма обучения, ФЭ)

Учебный план набора 2016 года

Кафедра физической электроники


Год издания: 2018

Основная литература

Дополнительная литература

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.4

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 2

Семестр: 4

Учебный план набора 2016 года