Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур, 2018

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2016 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники

Авторы:   Жидик Ю. С. и Данилина Т. И.
Год издания: 2018

Основная литература

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебное пособие / Данилина Т. И. — 2012. 89 с.

Дополнительная литература

Беркин А.Б. Физические основы вакуумной техники : учеб. пособие / А.Б. Беркин, А.И. Василевский. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014.-84 с.

Учебно-методическое пособие

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направлений 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» / Данилина Т. И. — 2013. 28 с.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» / Данилина Т. И. — 2013. 20 с.

Дисциплины

+

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.4

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 2

Семестр: 4

Учебный план набора 2016 года

План в архиве

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос