Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2017 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Дополнительная литература
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.]; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск: ТУСУР, 2005. - 316 с. (103.)
Доступно в библиотеке:
103
экземляра
Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. - М.: Высшая школа, 1986. - 367 с. (20)
Доступно в библиотеке:
20
экземпляров
Данилина Т.И., Смирнов С.В. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС. Учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2000. - 140 с. (52)
Доступно в библиотеке:
52
экземляра
Технология кремниевой наноэлектроники : учеб.пособие / Т.И. Данилина, В.А. Кагадей, Е.В. Анищенко. - 2-е изд. - Томск : Томск. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке:
37
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Технология кремниевой наноэлектроники
Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Твердотельная электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.1
Форма обучения: очная
Факультет: ИРЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 1
Семестр: 1, 2
Учебный план набора 2017 года
План в архиве