Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем

Лабораторный практикум

Приведены четыре лабораторные работы, в основу которых положены четыре наиболее распространенных и перспективных физических метода контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем – спектрометрическое оценивание толщины тонких пленок, рамановская и ИК Фурье-спектрометрия, растровая электронная микроскопия. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология»

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Смирнов, С. В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: Лабораторный практикум [Электронный ресурс] / С. В. Смирнов. — Томск: ТУСУР, 2010. — 97 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/536
Автор:   Смирнов С. В.
Год издания: 2010
Количество страниц: 97
Скачиваний: 77

Оглавление (содержание)

1. Лабораторная работа № 1. Спектрометрическое оценивание толщины тонких пленок

Цель работы

Программное обеспечение

Порядок выполнения работы

Расчет ошибок измерений

Контрольные вопросы

Список литературы

Приложение 1. Значение коэффициента Стьюдента для различных доверительных интервалов

2. Лабораторная работа № 2. Рамановская спектроскопия

Цель работы

Описание экспериментальной установки

Перечень необходимого оборудования и принадлежностей

Порядок выполнения работы

Задание

Контрольные вопросы

Список литературы

3. Лабораторная работа № 3. Инфракрасная Фурье-спектроскопия

Цель работы

Технические характеристики и принцип работы спектрометра

Условия эксплуатации и порядок работы со спектрометром

Задание

Контрольные вопросы

4. Лабораторная работа № 4. Устройство и принцип работы растрового электронного микроскопа

Цель работы

Техническое устройство и внешний вид растрового электронного микроскопа Hitachi ТМ-1000

Инструкция по эксплуатации растрового электронного

микроскопа Hitachi TM-1000

Порядок выполнения работы

Контрольные вопросы

Список литературы