28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) План в архиве
Очная форма обучения, план набора 2013 г.
Изучается: 7 семестр
Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)
Индекс дисциплины: Б1.Б.20
Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники
Рабочая программа
Основная литература
Смирнов С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2010. - 115 с
Доступно в библиотеке:
6
экземпляров
Смирнов С.В. Методы исследования материалов и структур электроники: учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2007. – 170 с.
Доступно в библиотеке:
96
экземпляров
Дополнительная литература
Брандон Д., Капран У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля: Учебное пособие для вузов: Пер. с англ.; ред. Пер.: С.Л, Баженов; авт. Дополнения: О.В. Егорова. – М.: Техносфера, 2006. – 377 с.
Доступно в библиотеке:
5
экземпляров
Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности: научное издание. – М.: Мир, 1989. – 564 с.
Доступно в библиотеке:
5
экземпляров
Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии : Монография: Пер. с англ. / М.П. Сих [и др.]; ред.: Д. Бриггс, М.П. Сих; ред. Пер.: В.И. Раховский, И.С. Рез. – М.: Мир, 1987. – 598 с.
Доступно в библиотеке:
2
экземляра
Вилков Л.В., Пентин Ю.А. Физические методы исследования в химии: Резонансные и электрооптические методы: учебник для вузов. – М.: Высшая школа, 1989. – 288 с.
Доступно в библиотеке:
1
экземпляр
Учебно-методическое пособие
Методы исследования материалов и структур электроники [Текст] : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104.65 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", направления 210100.62 "Электроника и микроэлектроника", направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", 210100.62 "Электроника и наноэлектроника", 210600.62 "Нанотехнология" / С. В. Смирнов, И. А. Чистоедова ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2012. - 52 с
Доступно в библиотеке:
45
экземпляров
Смирнов С.В. Методы исследования материалов и структур электроники: лабораторный практикум для студентов специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника». – Томск: ТУСУР, 2007. – 58 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Контрольные испытания
| Вид контроля | Семестры |
|---|---|
| Экзамен | 7 |
Объем дисциплины и виды учебной деятельности
| Вид учебной деятельности | 1 семестр | 2 семестр | 3 семестр | 4 семестр | 5 семестр | 6 семестр | 7 семестр | 8 семестр | Всего | Единицы |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Лекция | 36 | 36 | часов | |||||||
| Практическая работа | 20 | 20 | часов | |||||||
| Лабораторная работа | 16 | 16 | часов | |||||||
| Всего аудиторных занятий | 72 | 72 | часов | |||||||
| Из них в интерактивной форме | 6 | 6 | часов | |||||||
| Самостоятельная работа | 72 | 72 | часов | |||||||
| Всего (без экзамена) | 144 | 144 | часов | |||||||
| Подготовка и сдача экзамена/зачета | 36 | 36 | часов | |||||||
| Общая трудоемкость | 180 | 180 | часов | |||||||
| 5 | 5 | З.Е |
Компетенции
| Код | Содержание |
|---|---|
| ОПК-2 | способностью выявлять естественнонаучную сущность проблем, возникающих в ходе профессиональной деятельности, привлекать для их решения соответствующий физико-математический аппарат |
| ПК-2 | готовностью проводить экспериментальные исследования по синтезу и анализу материалов и компонентов нано- и микросистемной техники |