Исследование вакуумной системы на герметичность

Методические указания к лабораторной работе

В данной работе на основании данных по расходу газа, давлениям, длине свободного пробега молекул исследуется герметичность вакуумных коммуникаций. В общем случае задача сводится к генератору задачи, решаемой относительно требуемых параметров. Такие задачи без применения ЭВМ решать не представляется возможным. Кроме того, богатый математический аппарат вакуумной техники позволяет поддерживать системность в общении с компьютером, независимо от стартового уровня знаний в области. Предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоэлектроника» по курсу «Основы технологии оптических материалов и изделий» и по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства») по курсу «Технология материалов и изделий электронной техники».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Исследование вакуумной системы на герметичность: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 22 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1375
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2012
Количество страниц: 22
Скачиваний: 2

Оглавление (содержание)

1. Введение

2. Теоретическая часть

2.1. Общие положения

2.2 Манометрический метод течеискания

2.3 Масс-спектрометрический метод течеискания

3 Экспериментальная часть

3.1. Задание на работу

3.2. Описание лабораторной установки

3.3 Методические указания по выполнению лабораторной работы и по

подготовке течеискателя ПТИ-6 к работе

3.4. Содержание отчета

4 Контрольные вопросы

Список литературы

Приложение Методика работы с вакуумметром ВСБ-1