Специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники

Введение 6

Лабораторная работа 1. Исследование плазмы газового разряда методом двойного зонда 7

1 Введение 7

2.1 Общие понятия 7

2.2 Оценка параметров плазмы 9

2.3 Контрольные вопросы 10

3 Экспериментальная часть 11

3.1 Оборудование 11

3.2 Задание на работу 12

3.3 Обработка результатов измерений 12

3.4 Методические указания по выполнению работы 13

3.5 Содержание отчета 13

Лабораторная работа 2. Исследование методов поиска течей в электровакуумных приборах 15

1 Введение 15

2 Теоретическая часть 15

2.1 Общие положения 15

2.2 Манометрический метод течеискания 16

2.3. Масс-спектрометрический метод течеискания 18

2.4 Контрольные вопросы 21

3 Экспериментальная часть 21

3.1 Задание на работу 21

3.2 Описание лабораторной установки 22

3.3 Методические указания по выполнению лабораторной работы и по подготовке течеискателя ПТИ-6 к работе 23

3.4 Содержание отчета 28

Лабораторная работа 3. Исследование плазменного источника электронов 29

1 Введение ……………………….. 29

2 Теоретическая часть …….. 29

2.1 Основные определения 29

2.2 Параметры плазменных источников электронов 30

2.2.1 Эксплуатационные параметры 30

2.2.2 Физико-технологические параметры 32

2.3 Эмиссия электронов из плазмы 34

2.4 Электронные источники на основе разряда с холодным катодом в магнитном поле 36

2.5 Отражательный разряд с полым катодом 37

2.6 Электронные источники на основе отражательного разряда с полым катодом 40

3 Экспериментальная часть 41

3.1 Оборудование 41

3.2 Задание 44

3.3 Методические указания по выполнению лабораторной работы 45

3.4 Содержание отчета 47

Список литературы 48

Приложение А Методика работы с вакуумметром ВСБ-1 49