Методические указания по выполнению лабораторных работ для подготовки студентов по направлениям 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника»
Кафедра физической электроники
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Введение ..................................................................................................................................................................................... 4
Лабораторная работа № 1. Исследование процессов травления микро- и наноструктур............................................. 7
Лабораторная работа № 2. Исследование процессов формирования Т-образного затвора
р-НЕМТ транзистора ............................................................................................................................................................... 36
Лабораторная работа № 3. Формирование межэлементной изоляции в кремниевой наноэлектронике ................. 55
Список рекомендуемой литературы.......................................................................................................................................66
ПРИЛОЖЕНИЕ А (рекомендуемое) Командный файл для варианта 1 лабораторной работы № 2............................... 67
Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00