Научно-образовательный портал ТУСУР | Технология кремниевой наноэлектроники: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов технических вузов / Чистоедова И. А., Гарипов И. Ф.

Оглавление (содержание)

Введение........................................................................................................................................................... 4

Лабораторная работа № 1.

Исследование процессов травления микро- и наноструктур................................................................. 7

Лабораторная работа № 2.

Исследование процессов формирования Т-образного затвора р-НЕМТ транзистора..................... 36

Лабораторная работа № 3.

Формирование межэлементной изоляции в кремниевой наноэлектронике ....................................... 55

Список рекомендуемой литературы............................................................................................................ 66

ПРИЛОЖЕНИЕ А (рекомендуемое)

Командный файл для варианта 1 лабораторной работы № 2................................................................... 67

Технология кремниевой наноэлектроники

Оглавление (содержание)

Технология кремниевой наноэлектроники

Технология кремниевой наноэлектроники

Похожие пособия

Антенны: Лабораторный практикум / Фатеев А. В., Запасной А. С., Клоков А. В. — 2018. 66 с.

Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и структур: Лабораторный практикум / Чистоедова И. А., Смирнов С. В. — 2024. 62 с.

Безопасность сетей ЭВМ. Часть 1: Лабораторный практикум / Новохрестов А. К., Гуляев А. И. — 2017. 92 с.

Цифровая и микропроцессорная техника: Лабораторный практикум / Воронин А. И. — 2018. 75 с.

Программирование и основы алгоритмизации: Лабораторный практикум / Мельников А. В., Истигечева Е. В. — 2015. 31 с.