Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Проектирование и технология микро- и наноэлектронных средств, очная форма обучения, КУДР
Учебный план набора 2015 года (План в архиве)
Основная литература
Технология полупроводниковых материалов [Текст] : учебное пособие / С. Е. Александров, Ф. Ф. Греков. - 2-е изд., испр. - СПб. : Лань, 2012. - 240 с.
Доступно в библиотеке:
11
экземпляров
Дополнительная литература
Специальные вопросы технологии: учебное пособие / Л. Н. Орликов; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. - 229 с. : ил., табл
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Молекулярно-лучевая эпитаксия : учебное пособие / Л. Н. Орликов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. - 107 с. : ил., табл.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 310-313. - ISBN 5-86889-244-5
Доступно в библиотеке:
103
экземляра
Задачник по электронным приборам : Учебное пособие для вузов / В. А. Терехов. - 3-е изд., перераб и доп. - СПб. : Лань, 2003. - 276[12] с. : ил. - (Учебники для вузов. Специальная литература). - Библиогр.: с. 276-277. - ISBN 5-8114-0503-0
Доступно в библиотеке:
2
экземляра
Процессы и установки электронно-ионной технологии : учебное пособие для вузов / В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин. - М. : Высшая школа, 1988. - 256 с. : ил. - Библиогр.: с. 250-251. - Предм. указ.: с. 252-253. - ISBN 5-06-001480-0.
Доступно в библиотеке:
5
экземпляров
Физико-химические процессы в технологии РЭА : Учебник для вузов / Владимир Николаевич Черняев. - М. : Высшая школа, 1987. - 375[1] с. : ил.
Доступно в библиотеке:
53
экземляра
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники
Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Проектирование и технология микро- и наноэлектронных средств
Индекс дисциплины: ФТД.2
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ЭП
Курс: 2
Семестр: 3
Учебный план набора 2015 года
План в архиве