Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Учебно-проектная деятельность (УПД-4), 2023

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2023 года

Кафедра физической электроники

Автор:   Чистоедова И. А.
Год издания: 2023

Основная литература

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: Учебное пособие / Чистоедова И. А., Данилина Т. И. — 2011. 98 с.

Данилина Т.И. Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур.: Учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2022 - 89 с.

Дополнительная литература

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: Учебное пособие / Смирнов С. В. — 2010. 115 с.

Учебно-методическое пособие

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: Лабораторный практикум / С. В. Смирнов, Томск: ТУСУР, - 2021. 97 с.

Смирнов С.В., Чистоедова И.А. Методы исследований материалов и структур электроники: Учебно-методическое пособие. Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2023. 53 с.

Дисциплины

+

Учебно-проектная деятельность (УПД-4)

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: Б1.В.03.ДВ.04.02

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 4

Семестр: 7

Учебный план набора 2023 года

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос