Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2020 года
Кафедра физической электроники
Основная литература
Смирнова, Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". - Томск : ТУСУР , 2007. - 109 с
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Данилина, Тамара Ивановна. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие. - Томск : Издательство ТУСУР , 2000. - 140 с
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2 : Технологические аспекты. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2011. - 252 с
Доступно в библиотеке:
45
экземпляров
Дополнительная литература
Воробьев, Григорий Абрамович. Пробой тонких диэлектрических пленок : научное издание. - М. : Советское радио , 1977. - 69[4] с
Доступно в библиотеке:
28
экземпляров
Воробьев, Григорий Абрамович. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие. - Томск : Издательство Томского университета , 1991. - 124 с
Доступно в библиотеке:
114
экземпляров
Воробьев, Григорий Абрамович. Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл : монография. - Томск : ТУСУР , 2007. - 179[1] с
Доступно в библиотеке:
99
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Данилина, Тамара Ивановна. Технология тонкопленочных микросхем : Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". - Томск : ТУСУР , 2007. - 73 с
Доступно в библиотеке:
48
экземпляров
Смирнова, Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат). - Томск : ТУСУР , 2007. - 49 с
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Дисциплины
Учебно-проектная деятельность (УПД-3)
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.03.ДВ.03.02
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 3
Семестр: 6
Учебный план набора 2020 года