Сайты ТУСУРа
Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что  Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в  настройках своего браузера. Подробнее
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам услуги, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (Сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервиса Яндекс.Метрика)

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО-2), 2018

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2018 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Год издания: 2018

Основная литература

Дополнительная литература

Аксенов А.И., Окс Е.М., Злобина А.Ф. Вакуумная и плазменная электроника: Учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2007. – 164 с.
Доступно в библиотеке: 101 экземпляр

Нанотехнологии в электронике: Монография / Н.И. Боргардт и др. ред. Ю.А. Чаплыгин. Московский государственный институт электронной техники. – М.: Техносфера, 2005. – 446 с.
Доступно в библиотеке: 20 экземпляров

Зондовые нанотехнологии в электронике / В.К. Неволин. – М.: Техносфера, 2005. – 147 с.
Доступно в библиотеке: 9 экземпляров

Основы наноэлектроники: Учебное пособие для вузов / В.П. Драгунов, И.Г. Неизвестный, В.А. Гридчин. – 2-е изд., исп. и доп. – Новосибирск: НГТУ, 2004. – 494 [2] с.
Доступно в библиотеке: 20 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО-2)

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.5.2

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 3

Семестр: 5

Учебный план набора 2018 года

План в архиве