Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2015 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Дополнительная литература
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / К. И. Смирнова ; Федеральное
агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 183 с.
Доступно в библиотеке:
46
экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке:
99
экземпляров
Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке:
28
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Производственно-технологическая практика [Текст] : методические указания для студентов подготовки по направлениям 210100 - Электроника и наноэлектроника, 210600 - Нанотехнология, 222900 - Нанотехнологии и микросистемная техника / К. И. Смирнова ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра физической электроники. - Томск : [б. и.], 2012. - 14 с.
Доступно в библиотеке:
55
экземпляров
Дисциплины
Практика по получению профессиональных умений и опыта профессиональной деятельности
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б2.3
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 3
Семестр: 6
Учебный план набора 2015 года
План в архиве