Сайты ТУСУРа

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО 2), 2017

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2015 года

Кафедра физической электроники


Год издания: 2017

Основная литература

Дополнительная литература

Нанотехнологии в электронике: Монография / Н.И. Боргардт и др. ред. Ю.А. Чаплыгин. Московский государственный институт электронной техники. – М.: Техносфера, 2005. – 446 с.
Доступно в библиотеке: 20 экземпляров

Зондовые нанотехнологии в электронике / В.К. Неволин. – М.: Техносфера, 2005. – 147 с.
Доступно в библиотеке: 9 экземпляров

Основы наноэлектроники: Учебное пособие для вузов / В.П. Драгунов, И.Г. Неизвестный, В.А. Гридчин. – 2-е изд., исп. и доп. – Новосибирск: НГТУ, 2004. – 494 [2] с.
Доступно в библиотеке: 20 экземпляров

Аксенов А.И., Окс Е.М., Злобина А.Ф. Вакуумная и плазменная электроника: Учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2007. – 164 с.
Доступно в библиотеке: 101 экземпляр


Дисциплины

+

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО 2)

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.5.2

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс:

Семестр:

Учебный план набора 2015 года