Результаты научной деятельности
Approaches to development of behavioral models of semiconductor etching process
Статья в сборнике трудов конференции
Международная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Научная сессия ТУСУР–2017», посвященная 55-летию ТУСУРа
2017
Опубликовано
больше 5 лет назад
RIE Process Behavioral Models Based on Tree Ensembles and Neural Network
Статья в сборнике трудов конференции
Электронные средства и системы управления: XIII Международная научно-практическая конференция, посвященная 55-летию ТУСУРа
2017
Опубликовано
больше 5 лет назад
Plasma-Chemical Etching Process Behavioral Models Based on Tree Ensembles and Neural Network
Статья в сборнике трудов конференции
Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЭП - 2018
2018
Опубликовано
около 5 лет назад
Review of the application of virtual metrology approach in semiconductor manufacturing
Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018
Опубликовано
почти 5 лет назад
Visual analysis of CMP metrology data for predictive modeling
Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018
Опубликовано
почти 5 лет назад
A Study on the Effect of Ion Implantation Process Variations on the Small-Signal MESFET Model Parameters
Статья в сборнике трудов конференции
2019 International Multi-Conference on Engineering, Computer and Information Sciences (SIBIRCON)
2019
Опубликовано
почти 4 года назад