Visual analysis of CMP metrology data for predictive modeling
Статья в сборнике трудов конференции
The paper deals with the visual analysis of chemical-mechanical planarization (CMP) metrology data as a preliminary step before the implementation of virtual metrology based on predictive modeling. The major steps of the performed visual data analysis are shown. By the visualization of the CMP metrology data, outliers were detected and removed. Several predictive models based on linear regression were built in order to prove the efficiency of the visual data analysis. The possibility of increasing the predictive strength by selecting certain polishing recipes from the initial data set is demonstrated.
Библиографическая запись: Popov, A. A. Visual analysis of CMP metrology data for predictive modeling [Электронный ресурс] / A. A. Popov [et. al.] // Электронные средства и системы управления: Материалы докладов XIV Международной научно-практической конференции (28–30 ноября 2018 г.): в 2 ч. – Ч. 2. – Томск: В-Спектр, 2018. – С. 271-274.
Ключевые слова:
VISUAL DATA ANALYSIS VIRTUAL METROLOGY MACHINE LEARNING CHEMICAL-MECHANICAL PLANARIZATION SEMICONDUCTOR MANUFACTURINGКонференция:
- XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
- Россия, Томская область, Томск, 28-30 ноября 2018,
- Международная
Издательство:
В-Спектр
Россия, Томская область, Томск