Результаты научной деятельности
RIE Process Behavioral Models Based on Tree Ensembles and Neural Network
Статья в сборнике трудов конференции
Электронные средства и системы управления: XIII Международная научно-практическая конференция, посвященная 55-летию ТУСУРа
2017
Опубликовано
больше 5 лет назад
Plasma-Chemical Etching Process Behavioral Models Based on Tree Ensembles and Neural Network
Статья в сборнике трудов конференции
Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЭП - 2018
2018
Опубликовано
больше 5 лет назад
Review of the application of virtual metrology approach in semiconductor manufacturing
Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018
Опубликовано
почти 5 лет назад
Visual analysis of CMP metrology data for predictive modeling
Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018
Опубликовано
почти 5 лет назад
Construction of Fuzzy Classifiers by a Brain Storm Optimization Algorithm
Статья в журнале
Lecture Notes in Computer Science
2022
Опубликовано
больше 1 года назад