Результаты научной деятельности
О возможности прецизионной электронно-лучевой обработки протяженных диэлектрических изделий плазменным источником электронов в форвакууме
Статья в журнале
Прикладная физика
2017
Опубликовано
больше 6 лет назад
Применение двойной фокусирующей катушки для получения остросфокусированного пучка электронов в диапазоне давлений 10-30 ПА
Статья в сборнике трудов конференции
Прогрессивные технологии и процессы
2017
Опубликовано
около 6 лет назад
Масс-зарядовый состав ионов плазмы дугового разряда форвакуумного широкоапертурного источника электронов
Статья в журнале
Прикладная физика
2015
Опубликовано
почти 6 лет назад
Установка локального ионного травления диэлектрических поверхностей
патент на полезную модель
2017
Опубликовано
почти 6 лет назад