Применение двойной фокусирующей катушки для получения остросфокусированного пучка электронов в диапазоне давлений 10-30 ПА

Статья в сборнике трудов конференции

В статье представлены результаты применения двойной фокусирующей системы в установке электронно-лучевой обработки в форвакуумном диапазоне давлений. Экспериментально показано, что так же, как и при традиционных давлениях (до 0,1 Па), в форвакуумном диапазоне давлений наименьший диаметр пучка обеспечивается при малых токах дополнительной фокусирующей катушки. Повышение давления рабочего газа, в свою очередь, приводит к увеличению абсолютных значений диаметров пучка и не изменяет характер зависимостей. Работа поддержана грантом РФФИ 16-38-60032 мол_а_дк.

Библиографическая запись: Бакеев, И. Ю. Применение двойной фокусирующей катушки для получения остросфокусированного пучка электронов в диапазоне давлений 10-30 Па [Электронный ресурс] / И. Ю. Бакеев, А. А. Зенин // Прогрессивные технологии и процессы: Сборник научных статей 4-й Международной молодежной научно-технической конференции (21-22 сентября 2017 г.). – Курск: Из-во «Университетская книга», 2017. – С. 21-25

Конференция:

• Прогрессивные технологии и процессы
• Россия, Курская область, Курск, 21-22 сентября 2017,
• Международная

Издательство:

Закрытое акционерное общество "Университетская книга"

Россия, Курская область, Курск