О возможности прецизионной электронно-лучевой обработки протяженных диэлектрических изделий плазменным источником электронов в форвакууме

Статья в журнале

Представлены результаты исследований особенностей процессов отклонения и развертки сфокусированного электронного пучка, генерируемого плазменным источником электронов в области повышенных давлений форвакуумного диапазона. Показано, что во всех исследуемых диапазонах давлений и расстояний от отклоняющей системы в пределах угла отклонения электронного пучка в 20 градусов плотность мощности пучка снижается лишь на 20 %. На примере фрезеровки кварцевого стекла продемонстрирована возможность эффективной прецизионной электронно-лучевой обработки диэлектриков.

Журнал:

  • Прикладная физика
  • Акционерное общество "НПО "Орион" (Москва)

Библиографическая запись: О возможности прецизионной электронно-лучевой обработки протяженных диэлектрических изделий плазменным источником электронов в форвакууме / И. Ю. Бакеев [и др.] // Прикладная физика. – 2017. – № 3. – С. 26–30.

Индексируется в:

Год издания:  2017
Страницы:  26 - 30
Язык:  Русский
DOI:  DOI не указана