Вакуумная и плазменная электроника

Учебное пособие

Учебное пособие имеет своей целью ознакомление студентов с основами эмиссионной электроники, а также с основными процессами, происходящими в низкотемпературной плазме и газовом разряде низкого давления. Пособие рассчитано на самостоятельное изучение. Для более детального изучения всего многообразия процессов в эмиссионной электронике и физике низкотемпературной плазме, необходимо воспользоваться рекомендованной литературой. Пособие предназначено для студентов очной формы, обучающихся по направлению подготовки «11.03.04 – «Электроника и наноэлектроника», «28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника» по дисциплине «Вакуумная и плазменная электроника».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Аксенов, А. И. Вакуумная и плазменная электроника: Учебное пособие [Электронный ресурс] / А. И. Аксенов, Е. М. Окс, А. Ф. Злобина. — Томск: ТУСУР, 2018. — 165 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/7236.
Год издания: 2018
Количество страниц: 165
Скачиваний: 13

Содержание

1 Введение 6

2 Материальные среды 6

2.1 Особенности газовой среды 7

2.2 Средняя длина свободного пробега частиц в газе 9

2.3 Вакуум 11

2.4 Твердое тело 11

3 Энергия электронов в кристалле 13

4 Заполнение энергетических зон электронами. Электрические свойства твердых тел 15

5 Плотность энергетических уровней 17

6 Поверхностный потенциальный барьер 20

7 Электропроводность металлов и полупроводников 24

8 Контактная разность потенциалов 26

9 Термоэлектронная эмиссия 28

9.1 Определение констант термоэлектронной эмиссии 31

9.2 Распределение термоэлектронов по скоростям 32

9.3 Термоэлектронная эмиссия при наличии ускоряющего электрического поля на поверхности металла 35

9.4 Типы катодов 37

9.5 Параметры катодов 44

9.6 Практические требования к термоэлектронным катодам 47

10 Фотоэлектронная эмиссия металлов 47

10.1 Теория фотоэлектронной эмиссии металлов 49

10.2 Фотоэлектронная эмиссия диэлектриков и полупроводников 52

10.3 Фотоэлектронная эмиссия примесных полупроводников 53

10.4 Типы фотокатодов 55

10.5 Параметры и характеристики фотокатодов 56

11 Электростатическая эмиссия 58

12 Взрывная эмиссия 60

13 Вторичная электронная эмиссия 62

13.1 Вторичная электронная эмиссия металлов 62

13.2 Механизм вторичной электронной эмиссии 64

13.3 Вторичная электронная эмиссия полупроводников и диэлектриков 66

13.4 Аномальная вторичная электронная эмиссия 67

14 Элементарные процессы в плазме 68

14.1 Передача энергии при парном взаимодействии 70

14.2 Эффективные сечения взаимодействия 73

14.3 Кулоновские столкновения. Формула Резерфорда 78

14.4 Неупругие столкновения в плазме 83

14.5 Неупругие процессы второго рода 93

14.6 Движение заряженных частиц в газе и плазме 98

15 Основные свойства плазмы 107

15.1 Количественное определение плазмы 108

15.2 Квазинейтральность плазмы 111

15.3 Упругие столкновения в плазме. Кулоновский логарифм 114

15.4 Классификация плазмы 117

15.5 Электропроводность плазмы 118

15.6 Диэлектрическая проницаемость плазмы 120

15.7 Колебания и волны в плазме 124

15.8 Плазма в магнитном поле 126

15.9 Слои пространственного заряда в плазме 130

15.10 Эмиссия заряженных частиц из плазмы 137

16 Методы измерения параметров плазмы 149

16.1 Зондовый метод диагностики плазмы 149

16.2 Спектральная диагностика плазмы 161

16.3 СВЧ-диагностика плазмы 162

Рекомендуемая литература 163



Похожие пособия