Вакуумная и плазменная электроника

Учебное пособие для студентов направления «210100.62 – Электроника и наноэлектроника»

Предлагаемое вниманию учебное пособие имеет своей целью ознакомление студентов с основами эмиссионной электроники, а также с основными процессами, происходящими в низкотемпературной плазме и газовом разряде низкого давления. Оно может рассматриваться как дополнение к учебным курсам, читаемым будущим инженерам электронной техники, и будет полезно в процессе изучения специальных дисциплин, связанных с использованием современных электронных ионно-плазменных устройств. Пособие рассчитано на самостоятельное изучение. Для более детального изучения всего многообразия процессов в эмиссионной электронике и физике низкотемпературной плазме, необходимо воспользоваться рекомендованной литературой. Пособие предназначено для студентов очной формы, обучающихся по направления 210100.62 – «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Вакуумная и плазменная электроника».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Аксенов, А. И. Вакуумная и плазменная электроника: Учебное пособие для студентов направления «210100.62 – Электроника и наноэлектроника» [Электронный ресурс] / А. И. Аксенов, Е. М. Окс, А. Ф. Злобина. — Томск: ТУСУР, 2013. — 128 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3456
Год издания: 2013
Количество страниц: 128
Скачиваний: 139

Оглавление (содержание)

1 Введение

2 Материальные среды

2.1 Особенности газовой среды

2.2 Средняя длина свободного пробега частиц в газе

2.3 Вакуум

2.4 Твердое тело

3 Энергия электронов в кристалле

4 Заполнение энергетических зон электронами. Электрические свойства твердых тел

5 Плотность энергетических уровней

6 Поверхностный потенциальный барьер

7 Электропроводность металлов и полупроводников

8 Контактная разность потенциалов

9 Термоэлектронная эмиссия

9.1 Определение констант термоэлектронной эмиссии

9.2 Распределение термоэлектронов по скоростям

9.3 Термоэлектронная эмиссия при наличии ускоряющего электрического поля на поверхности металла

9.4 Типы катодов

9.5 Параметры катодов

9.6 Практические требования к термоэлектронным катодам

10 Фотоэлектронная эмиссия металлов

10.1 Теория фотоэлектронной эмиссии металлов

10.2 Фотоэлектронная эмиссия диэлектриков и полупроводников

10.3 Фотоэлектронная эмиссия примесных полупроводников

10.4 Типы фотокатодов

10.5 Параметры и характеристики фотокатодов

11 Электростатическая эмиссия

12 Взрывная эмиссия

13 Вторичная электронная эмиссия

13.1 Вторичная электронная эмиссия металлов

13.2 Механизм вторичной электронной эмиссии

13.3 Вторичная электронная эмиссия полупроводников и диэлектриков

13.4 Аномальная вторичная электронная эмиссия

14 Элементарные процессы в плазме

14.1 Передача энергии при парном взаимодействии

14.2 Эффективные сечения взаимодействия

14.3 Кулоновские столкновения. Формула Резерфорда

14.4 Неупругие столкновения в плазме

14.5 Неупругие процессы второго рода

14.6 Движение заряженных частиц в газе и плазме

15 Основные свойства плазмы

15.1 Количественное определение плазмы

15.2 Квазинейтральность плазмы

15.3 Упругие столкновения в плазме. Кулоновский логарифм

15.4 Классификация плазмы

15.5 Электропроводность плазмы

15.6 Диэлектрическая проницаемость плазмы

15.7 Колебания и волны в плазме

15.8 Плазма в магнитном поле

15.9 Слои пространственного заряда в плазме

15.10 Эмиссия заряженных частиц из плазмы

16 Методы измерения параметров плазмы

16.1 Зондовый метод диагностики плазмы

16.2 Спектральная диагностика плазмы

16.3 СВЧ-диагностика плазмы

Рекомендуемая литература



Похожие пособия