Методические указания к лабораторной работе
Целью настоящей работы является исследование плазменного источника электронов Предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства») по курсу «Спец. вопросы технологии».
Библиографическая запись:
Орликов, Л. Н. Исследование плазменного источника электронов: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 23 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1919
Оглавление (содержание)
1. Введение
2. Теоретическая часть
2.1. Основные определения
2.2. Параметры плазменных источников электронов
2.2.1. Эксплуатационные параметры
2.2.2. Физико-технологические параметры
2.3. Эмиссия электронов из плазмы
2.4. Электронные источники на основе разряда с холодным катодом в магнитном поле
2.5. Отражательный разряд с полым катодом
2.6. Электронные источники на основе отражательного разряда с полым катодом
3. Экспериментальная часть
3.1. Оборудование
3.2. Задание
3.3. Методические указания по выполнению лабораторной работы
3.4. Содержание отчета
4. Рекомендуемая литература