Интегральные устройства радиоэлектроники. Часть 1. Основные структуры полупроводниковых интегральных схем

1 ВВЕДЕНИЕ.......................................................................................................................5

1.1 Миниатюризация радиоэлектронных средств........................................................5

1.2 Классификация интегральных схем ........................................................................6

1.3 Сущность технологии полупроводниковых интегральных схем...........................8

1.4 Основные направления функциональной электроники........................................10

2 ПОДЛОЖКИ.....................................................................................................................11

2.1 Разновидности подложек............................................................................................11

2.2 Полупроводниковые материалы...............................................................................12

2.3 Механическая обработка подложек .......................................................................14

3 ОЧИСТКА И ТРАВЛЕНИЕ ПОДЛОЖЕК........................................................................15

3.1 Виды загрязнений и очистки......................................................................................15

3.2 Жидкостная обработка.............................................................................................16

3.3 Сухое травление ........................................................................................................18

4 ПРОВОДЯЩИЕ СЛОИ..................................................................................................20

4.1 Назначение и материалы .........................................................................................20

4.2 Получение проводящих слоев физическими методами .....................................23

4.3 Получение проводящих слоев химическими методам .......................................29

5 ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СЛОИ ................................................................................31

5.1 Диффузия примесей...................................................................................................31

5.2 Ионное легирование.................................................................................................36

5.3 Эпитаксиальное наращивание ..............................................................................41

6 ГЕТЕРОПЕРЕХОДЫ И КВАНТОВЫЕ РАЗМЕРНЫЕ СТРУКТУРЫ ............................49

6.1 Полупроводниковые гетеропереходы.....................................................................49

6.2 Квантовые ямы, нити и точки ..................................................................................51

6.3 Сверхрешетки ...........................................................................................................54

7 ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СЛОИ .......................................................................................56

7.1 Назначение и материалы .........................................................................................56

7.2 Методы получения ....................................................................................................57

7.3 Параметры качества диэлектрических пленок....................................................65

7.4 Защитные покрытия ..................................................................................................67

8 ЛИТОГРАФИЯ................................................................................................................68

8.1 Фотолитография .........................................................................................................68

8.2 Повышение разрешающей способности фотолитографии .................................74

8.3 Другие виды литографии..........................................................................................77

9 МОДЕЛИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР .......................................................84

9.1 Сущность проектирования интегральных схем ....................................................84

9.2 Технологические модели..........................................................................................86

9.3 Физико-топологические модели.............................................................................86

9.4 Электрические модели.............................................................................................89

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ...................................................................................................90