Сайты ТУСУРа

Учебно-проектная деятельность (УПД-3)

28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике)

Очная форма обучения, план набора 2023 г.

Изучается: 6 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.03.ДВ.03.02

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Основная литература

Смирнова, Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". - Томск : ТУСУР , 2007. - 109 с
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Данилина, Тамара Ивановна. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие. - Томск : Издательство ТУСУР , 2000. - 140 с
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2 : Технологические аспекты. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2011. - 252 с
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров

Дополнительная литература

Воробьев, Григорий Абрамович. Пробой тонких диэлектрических пленок : научное издание. - М. : Советское радио , 1977. - 69[4] с
Доступно в библиотеке: 28 экземпляров

Воробьев, Григорий Абрамович. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие. - Томск : Издательство Томского университета , 1991. - 124 с
Доступно в библиотеке: 114 экземпляров

Воробьев, Григорий Абрамович. Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл : монография. - Томск : ТУСУР , 2007. - 179[1] с
Доступно в библиотеке: 99 экземпляров

Учебно-методическое пособие

Данилина Т. И. Технология тонкопленочных микросхем : Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе. - Томск : ТУСУР , 2007. - 73 с
Доступно в библиотеке: 48 экземпляров

Смирнова К. И. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе студентов. - Томск : ТУСУР , 2007. - 49 с
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров


Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Зачет с оценкой 6

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Практические занятия5656часов
↳ из них практическая подготовка5656часов
Самостоятельная работа8888часов
↳ из них практическая подготовка0часов
Общая трудоемкость144144часов
44З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-2 Готов проводить экспериментальные исследования по синтезу и анализу материалов и компонентов нано- и микросистемной техники
ПК-3 Готов анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций