Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2013 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Дополнительная литература
Тонкопленочная технология: Пер. с англ. / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис; пер. В.И. Генкин, пер. Е.И. Гиваргизов. – М.: Энергия, 1972. – 336 с.
Доступно в библиотеке:
12
экземпляров
Технология тонких пленок: справочник: в 2 т.: пер. с англ. / ред. Л. Майссел, ред. Р. Глэнг, ред. пер. М.И. Елинсон, ред. пер. Г.Г. Смолко. – М.: Советское радио, 1977 – Т. 1 / К.А. Нейгебауэр, С.Мадер, И.Х. Кан. – М.: Советское радио, 1977. – 664 с.
Доступно в библиотеке:
13
экземпляров
Технология тонких пленок: справочник: В 2 т.: Пер. с англ. – М.: Советское радио, 1977 – Т. 2 / ред. Л. Майссел, ред. Р. Глэнга. – М.: Советское радио, 1977. – 768 с.
Доступно в библиотеке:
11
экземпляров
Получение тонкопленочных элементов микросхем: производственно-практическое издание / Б.С. Данилин. – М.: Энергия, 1977. – 135[1] с.
Доступно в библиотеке:
59
экземпляров
Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие / Г.А. Воробьев, Т.И. Данилина, К.И. Смирнова; ред. З.А. Шандра; ТИАСУР. – Томск: Издательство Томского университета, 1991. – 124 с.
Доступно в библиотеке:
131
экземпляр
Учебно-методическое пособие
Тонкие пленки в микроэлектронике: учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе / К.И. Смирнова; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. – Томск: ТУСУР, 2007. – 49 с.
Доступно в библиотеке:
49
экземпляров
Дисциплины
Научно-исследовательская работа
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.4.2
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 4
Семестр: 7
Учебный план набора 2013 года
План в архиве