28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) План в архиве
Очная форма обучения, план набора 2013 г.
Изучается: 7 семестр
Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.4.2
Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники
Рабочая программа
Основная литература
Дополнительная литература
Тонкопленочная технология: Пер. с англ. / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис; пер. В.И. Генкин, пер. Е.И. Гиваргизов. – М.: Энергия, 1972. – 336 с.
Доступно в библиотеке:
12
экземпляров
Технология тонких пленок: справочник: в 2 т.: пер. с англ. / ред. Л. Майссел, ред. Р. Глэнг, ред. пер. М.И. Елинсон, ред. пер. Г.Г. Смолко. – М.: Советское радио, 1977 – Т. 1 / К.А. Нейгебауэр, С.Мадер, И.Х. Кан. – М.: Советское радио, 1977. – 664 с.
Доступно в библиотеке:
13
экземпляров
Технология тонких пленок: справочник: В 2 т.: Пер. с англ. – М.: Советское радио, 1977 – Т. 2 / ред. Л. Майссел, ред. Р. Глэнга. – М.: Советское радио, 1977. – 768 с.
Доступно в библиотеке:
11
экземпляров
Получение тонкопленочных элементов микросхем: производственно-практическое издание / Б.С. Данилин. – М.: Энергия, 1977. – 135[1] с.
Доступно в библиотеке:
59
экземпляров
Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие / Г.А. Воробьев, Т.И. Данилина, К.И. Смирнова; ред. З.А. Шандра; ТИАСУР. – Томск: Издательство Томского университета, 1991. – 124 с.
Доступно в библиотеке:
131
экземпляр
Учебно-методическое пособие
Тонкие пленки в микроэлектронике: учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе / К.И. Смирнова; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. – Томск: ТУСУР, 2007. – 49 с.
Доступно в библиотеке:
49
экземпляров
Контрольные испытания
| Вид контроля | Семестры |
|---|---|
| Зачёт с оценкой | 7 |
Объем дисциплины и виды учебной деятельности
| Вид учебной деятельности | 1 семестр | 2 семестр | 3 семестр | 4 семестр | 5 семестр | 6 семестр | 7 семестр | 8 семестр | Всего | Единицы |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Практическая работа | 108 | 108 | часов | |||||||
| Всего аудиторных занятий | 108 | 108 | часов | |||||||
| Из них в интерактивной форме | 20 | 20 | часов | |||||||
| Самостоятельная работа | 108 | 108 | часов | |||||||
| Общая трудоемкость | 216 | 216 | часов | |||||||
| 6 | 6 | З.Е |
Компетенции
| Код | Содержание |
|---|---|
| ПК-2 | готовностью проводить экспериментальные исследования по синтезу и анализу материалов и компонентов нано- и микросистемной техники |
| ПК-3 | готовностью анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций |
| ПСК-3 | готовностью к выполнению научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ в области производства изделий наноэлектроники и микросистемной техники |