Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника, очная форма обучения, ЭП
Учебный план набора 2016 года
Автор:
Орликов Л. Н.
Год издания: 2017
Основная литература
Дополнительная литература
Основы вакуумной техники : Учебник для техникумов / А. И. Пипко [и др.]. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Энергоиздат, 1981. - 430 с
Доступно в библиотеке:
14
экземпляров
Основы микроэлектроники : учебное пособие для вузов / И. П. Степаненко. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Лаборатория Базовых Знаний, 2004. - 488 с
Доступно в библиотеке:
225
экземпляров
Вакуумная техника: Учебник для вузов / Л. Н. Розанов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1990. - 319[1] с
Доступно в библиотеке:
4
экземляра
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с ISBN 5-86889-244-5
Доступно в библиотеке:
103
экземляра
Вакуумная электроника. Физико-технические основы : учебное пособие для вузов / А. Д. Сушков. - СПб. : Лань, 2004. - 462[2] с
Доступно в библиотеке:
37
экземпляров
Электроника : Учебное пособие для вузов / А. А. Щука ; ред. : А. С. Сигов. - СПб. : БХВ-Петербург, 2006. - 799[1] с
Доступно в библиотеке:
3
экземляра
Молекулярно-лучевая эпитаксия: учебное пособие / Л. Н. Орликов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. - 107 с
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы : Учебное пособие для вузов / А. А. Барыбин. - М. : Физматлит, 2006. - 423[1] с
Доступно в библиотеке:
130
экземпляров
Дисциплины
Основы вакуумных технологий
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.14
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ЭП
Курс:
Семестр:
Учебный план набора 2016 года