Сайты ТУСУРа

Основы вакуумных технологий, 2017

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Квантовая и оптическая электроника, очная форма обучения, ЭП

Учебный план набора 2016 года

Кафедра электронных приборов


Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2017

Основная литература

Дополнительная литература

Основы вакуумной техники : Учебник для техникумов / А. И. Пипко [и др.]. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Энергоиздат, 1981. - 430 с
Доступно в библиотеке: 14 экземпляров

Основы микроэлектроники : учебное пособие для вузов / И. П. Степаненко. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Лаборатория Базовых Знаний, 2004. - 488 с
Доступно в библиотеке: 225 экземпляров

Вакуумная техника: Учебник для вузов / Л. Н. Розанов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1990. - 319[1] с
Доступно в библиотеке: 4 экземляра

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с ISBN 5-86889-244-5
Доступно в библиотеке: 103 экземляра

Вакуумная электроника. Физико-технические основы : учебное пособие для вузов / А. Д. Сушков. - СПб. : Лань, 2004. - 462[2] с
Доступно в библиотеке: 37 экземпляров

Электроника : Учебное пособие для вузов / А. А. Щука ; ред. : А. С. Сигов. - СПб. : БХВ-Петербург, 2006. - 799[1] с
Доступно в библиотеке: 3 экземляра

Молекулярно-лучевая эпитаксия: учебное пособие / Л. Н. Орликов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. - 107 с
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы : Учебное пособие для вузов / А. А. Барыбин. - М. : Физматлит, 2006. - 423[1] с
Доступно в библиотеке: 130 экземпляров


Дисциплины

+

Основы вакуумных технологий

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Квантовая и оптическая электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.14

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ЭП

Курс:

Семестр:

Учебный план набора 2016 года