Top.Mail.Ru
Научно-образовательный портал ТУСУР | Физика пленочных наноструктур: Рабочая программа учебной дисциплины «Физика пленочных наноструктур»/ Иваничко С. П., Минин О. Н. ‐ 2026
Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Физика пленочных наноструктур, 2026

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Проектирование и технология микросистем, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2026 года

Кафедра физической электроники

Авторы:   Иваничко С. П. и Минин О. Н.
Год издания: 2026

Основная литература

Антоненко, С. В. Технология тонких пленок : учебное пособие / С. В. Антоненко. — Москва : НИЯУ МИФИ, 2008. — 104 с.

Тонкие пленки в микроэлектронике : учебное пособие / К. И. Смирнова; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 109 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Дополнительная литература

Васильев, В. Ю. Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. — Новосибирск : НГТУ, 2021. — 100 с.

Васильев В.Ю. Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста : учебное пособие для вузов / В.Ю. Васильев. — Санкт-Петербург : Лань, 2024. — 344 с.

Учебно-методическое пособие

Технология материалов и изделий электронной техники: Учебно-методическое пособие по самостоятельной работе / Орликов Л. Н. — 2012. 26 с.

Тонкие пленки в микроэлектронике : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 49 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Дисциплины

+

Физика пленочных наноструктур

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Проектирование и технология микросистем

Индекс дисциплины: Б1.В.02.03

Форма обучения: очная

Факультет: ИРЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 3

Семестр: 6

Учебный план набора 2026 года

  • Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
  • Address 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40
  • Phone (3822) 51-05-30
  • Printer (3822) 51-32-62, 52-63-65
  • Email office@tusur.ru
  • Time Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00