Технология материалов и изделий электронной техники

Введение

Раздел 1. Физико-химические основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники

1.1 Содержание раздела

1.2 Методические указания по изучению раздела

1.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 2. Кинетические диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах

2.1 Содержание раздела

2.2 Методические указания по изучению раздела

2.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 3. Физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно- лучевой и лазерной технологии

3.1 Содержание раздела

3.2 Методические указания по изучению раздела

3.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 4. Основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники

4.1 Содержание раздела

4.2 Методические указания по изучению раздела

4.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 5. Автоматизация процессов производства электронных приборов и устройств

5.1 Содержание раздела

5.2 Методические указания по изучению раздела

5.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 6. Эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования

6.1 Содержание раздела

6.2 Методические указания по изучению раздела

7 Лабораторные работы

8 Практические занятия

8.1 Общие положения

8.2 Тестовые вопросы для подготовки к практическим занятиям

9 Курсовое проектирование

10 Темы для самостоятельного изучения

Список литературы