Сайты ТУСУРа
Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что  Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в  настройках своего браузера. Подробнее
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам услуги, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (Сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервиса Яндекс.Метрика)

Методы и технология литографических процессов, 2025

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника, очная форма обучения, ПИШ

Учебный план набора 2025 года

Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева


Год издания: 2025

Основная литература

Дополнительная литература

Технология кремниевой наноэлектроники : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке: 29 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Методы и технология литографических процессов

Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника

Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.02.02

Форма обучения: очная

Факультет: ПИШ

Кафедра: ПИШ

Курс: 1

Семестр: 2

Учебный план набора 2025 года