Сайты ТУСУРа

Физика пленочных наноструктур, 2016

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2014 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Автор:   Мухачев В. А.
Год издания: 2016

Основная литература

К.И.Смирнова. Тонкие пленки в микроэлектронике. Учебное пособие. Томск: ТУСУР, 2012.- 110 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Дополнительная литература

Физика тонких пленок. Том 8. Сб. статей под общей редакцией Г. Хасса, М. Франкомба и Р.Гофмана, М.: «Мир», 1978. – 359 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров

Технология тонких пленок. Справочник. Том 1,2. –М.: Сов. радио, Т.1, 1977.- 664 с.
Доступно в библиотеке: 13 экземпляров

Г.А.Воробьев, В.А.Мухачев. Пробой тонких диэлектрических пленок. – М.:«Советское радио», 1977.- 70 с.
Доступно в библиотеке: 36 экземпляров

Электропроводность тонких диэлектрических пленок. – Учебное пособие: Ленинградский политехнический институт им. М.И.Калинина, 1981.- 55 с.
Доступно в библиотеке: 4 экземляра

Б.А.Бочкарев, В.А.Бочкарева. Керметные пленки.:«Энергия», Ленинградское отд., 1975.- 152 с.
Доступно в библиотеке: 2 экземляра

Физика тонких пленок. Том 4. Сб. статей под общей редакцией Г. Хасса и Р.Э.Туна, М.: «Мир», 1970. – 440 с.
Доступно в библиотеке: 7 экземпляров

Технология тонких пленок. Справочник. Том 1,2. –М.: Сов. радио, Т.2, 1977. -768 с.
Доступно в библиотеке: 14 экземпляров

Учебно-методическое пособие

К.И.Смирнова. Тонкие пленки в микроэлектронике. Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов направления подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Электроника и наноэлектроника».-Томск:ТУСУР, 2013.- 49 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

К.И.Смирнова. Тонкие пленки в микроэлектронике. Учебно-методическое пособие по выполнению курсовой работы для студентов направления подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Электроника и наноэлектроника».-Томск:ТУСУР, 2013.- 25 с.
Доступно в библиотеке: 30 экземпляров


Дисциплины

+

Физика пленочных наноструктур

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.2

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 3, 4

Семестр: 6, 7

Учебный план набора 2014 года

План в архиве