Физика пленочных наноструктур

11.03.04 - Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) План в архиве

Очная форма обучения, план набора 2014 г.

Изучается: 6, 7 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.2

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Основная литература

К.И.Смирнова. Тонкие пленки в микроэлектронике. Учебное пособие. Томск: ТУСУР, 2012.- 110 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Дополнительная литература

Физика тонких пленок. Том 8. Сб. статей под общей редакцией Г. Хасса, М. Франкомба и Р.Гофмана, М.: «Мир», 1978. – 359 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров
Технология тонких пленок. Справочник. Том 1,2. –М.: Сов. радио, Т.1, 1977.- 664 с.
Доступно в библиотеке: 13 экземпляров
Г.А.Воробьев, В.А.Мухачев. Пробой тонких диэлектрических пленок. – М.:«Советское радио», 1977.- 70 с.
Доступно в библиотеке: 36 экземпляров
Электропроводность тонких диэлектрических пленок. – Учебное пособие: Ленинградский политехнический институт им. М.И.Калинина, 1981.- 55 с.
Доступно в библиотеке: 4 экземляра
Б.А.Бочкарев, В.А.Бочкарева. Керметные пленки.:«Энергия», Ленинградское отд., 1975.- 152 с.
Доступно в библиотеке: 2 экземляра
Физика тонких пленок. Том 4. Сб. статей под общей редакцией Г. Хасса и Р.Э.Туна, М.: «Мир», 1970. – 440 с.
Доступно в библиотеке: 7 экземпляров
Технология тонких пленок. Справочник. Том 1,2. –М.: Сов. радио, Т.2, 1977. -768 с.
Доступно в библиотеке: 14 экземпляров

Учебно-методическое пособие

К.И.Смирнова. Тонкие пленки в микроэлектронике. Учебно-методическое пособие по выполнению курсовой работы для студентов направления подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Электроника и наноэлектроника».-Томск:ТУСУР, 2013.- 25 с.
Доступно в библиотеке: 30 экземпляров

Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Экзамен 6
Курсовая работа 7

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Лекция4444часов
Практическая работа1616часов
Курсовая работа (проект)1818часов
Всего аудиторных занятий601878часов
Из них в интерактивной форме1010часов
Самостоятельная работа4890138часов
Всего (без экзамена)108108216часов
Подготовка и сдача экзамена/зачета3636часов
Общая трудоемкость144108252часов
437З.Е

Компетенции

Код Содержание
ОПК-1 способностью представлять адекватную современному уровню знаний научную картину мира на основе знания основных положений, законов и методов естественных наук и математики
ОПК-2 способностью выявлять естественнонаучную сущность проблем, возникающих в ходе профессиональной деятельности, привлекать для их решения соответствующий физико-математический аппарат
ПК-2 способностью аргументированно выбирать и реализовывать на практике эффективную методику экспериментального исследования параметров и характеристик приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения