Технология производства интегральных микросхем, 2016

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств

Профиль: Проектирование и технология электронно-вычислительных средств (очная форма обучения, КИБЭВС)

Учебный план набора 2013 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Автор:   Жидик Ю. С.
Год издания: 2016

Основная литература

Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие / Т.И. Данилина, В.А. Кагадей, Е.В. Анищенко. – 2-е изд. – Томск: Томск. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники, 2015. – 319 с.
Доступно в библиотеке: 30 экземпляров

Дополнительная литература

Технология СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке: 51 экземпляр
Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность: Учебное пособие для вузов / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высшая школа, 1986. - 464 с.
Доступно в библиотеке: 54 экземляра
Технология микроэлектронных устройств: Справочник / З. Ю. Готра. - М.: Радио и связь, 1991. - 528 с. - ISBN 5-256-00699-1.
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии: Учебное пособие / К.И.Смирнова. – Томск: ТУСУР, 2007. – 180 с.
Доступно в библиотеке: 51 экземпляр

Учебно-методическое пособие

Данилина Т.И., Сахаров Ю.В. Технология тонкопленочных микросхем : Методические указания по выполнению лабораторных работ. – Томск: ТУСУР, 2007. – 63 с.
Доступно в библиотеке: 30 экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 53 с.
Доступно в библиотеке: 47 экземпляров
Технология тонкопленочных микросхем : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 73 с
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Дисциплины

+

Технология производства интегральных микросхем

Направление подготовки (специальность): 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств

Профиль: Проектирование и технология электронно-вычислительных средств

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.12

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 3

Семестр: 5

Учебный план набора 2013 года

План в архиве