Технология производства интегральных микросхем

11.03.03 - Конструирование и технология электронных средств (Проектирование и технология электронно-вычислительных средств) План в архиве

Очная форма обучения, план набора 2013 г.

Изучается: 5 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.12

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Основная литература

Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие / Т.И. Данилина, В.А. Кагадей, Е.В. Анищенко. – 2-е изд. – Томск: Томск. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники, 2015. – 319 с.
Доступно в библиотеке: 30 экземпляров

Дополнительная литература

Технология СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке: 51 экземпляр
Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность: Учебное пособие для вузов / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высшая школа, 1986. - 464 с.
Доступно в библиотеке: 54 экземляра
Технология микроэлектронных устройств: Справочник / З. Ю. Готра. - М.: Радио и связь, 1991. - 528 с. - ISBN 5-256-00699-1.
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии: Учебное пособие / К.И.Смирнова. – Томск: ТУСУР, 2007. – 180 с.
Доступно в библиотеке: 51 экземпляр

Учебно-методическое пособие

Данилина Т.И., Сахаров Ю.В. Технология тонкопленочных микросхем : Методические указания по выполнению лабораторных работ. – Томск: ТУСУР, 2007. – 63 с.
Доступно в библиотеке: 30 экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 53 с.
Доступно в библиотеке: 47 экземпляров
Технология тонкопленочных микросхем : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 73 с
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Экзамен 5

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Лекция1818часов
Практическая работа1818часов
Лабораторная работа1616часов
Всего аудиторных занятий5252часов
Из них в интерактивной форме1212часов
Самостоятельная работа5656часов
Всего (без экзамена)108108часов
Подготовка и сдача экзамена/зачета3636часов
Общая трудоемкость144144часов
44З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-1 способностью моделировать объекты и процессы, используя стандартные пакеты автоматизированного проектирования и исследования
ПК-3 готовностью формировать презентации, научно-технические отчеты по результатам выполненной работы, оформлять результаты исследований в виде статей и докладов на научно-технических конференциях