Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2020 года
Кафедра физической электроники
Основная литература
Дополнительная литература
Тонкие пленки в микроэлектронике : учебное пособие / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 109 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Тонкие пленки в микроэлектронике : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 49 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Дисциплины
Физика пленочных наноструктур
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.02.08
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 3
Семестр: 5
Учебный план набора 2020 года