Сайты ТУСУРа

Физика пленочных наноструктур, 2022

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2019 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Автор:   Минин О. Н.
Год издания: 2022

Основная литература

Дополнительная литература

Тонкие пленки в микроэлектронике : учебное пособие / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 109 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Учебно-методическое пособие

Тонкие пленки в микроэлектронике : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 49 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров


Дисциплины

+

Физика пленочных наноструктур

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: Б1.В.09

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 3

Семестр: 5

Учебный план набора 2019 года

План в архиве