Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Фотоника волноводных, нелинейных и периодических структур, очная форма обучения, ЭП
Учебный план набора 2021 года (План в архиве)
Основная литература
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов. - Томск : ТУСУР , 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке:
103
экземляра
Орликов, Леонид Николаевич. Специальные вопросы технологии : Учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2007. - 229 с
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Орликов, Леонид Николаевич. Молекулярно-лучевая эпитаксия : Учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2007. - 107 с.
Доступно в библиотеке:
48
экземпляров
Дополнительная литература
Александров, Сергей Евгеньевич. Технология полупроводниковых материалов : учебное пособие / С. Е. Александров, Ф. Ф. Греков. - 2-е изд., испр. - СПб. : Лань, 2012. - 240 с.
Доступно в библиотеке:
11
экземпляров
Черняев, Владимир Николаевич. Физико-химические процессы в технологии РЭА : Учебник для вузов. - М. : Высшая школа , 1987. - 375[1] с.
Доступно в библиотеке:
52
экземляра
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Специальные вопросы технологии приборов фотоники, голографии, интегральной и волоконной оптики
Направление подготовки (специальность): 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Фотоника волноводных, нелинейных и периодических структур
Индекс дисциплины: ФТД.В.01
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ЭП
Курс: 1
Семестр: 1
Учебный план набора 2021 года
План в архиве