Специальные вопросы технологии приборов фотоники, голографии, интегральной и волоконной оптики

Методические указания по самостоятельной работе

Данные методические указания ставят своей целью оказать помощь студентам в изучении новейших высоких технологий производства приборов фотоники фотоники, голографии, интегральной и волоконной оптики. Это требует овладения навыками самостоятельной работы с учебной и периодической литературой, с описаниями патентов и авторских свидетельств, умения самостоятельно излагать свои мысли и знания в процессе изучения дисциплины. Методические указания предназначены для студентов при работе над индивидуальным заданием и при подготовке к его защите. Они также могут использоваться в процессе проведения консультаций, коллоквиумов и выработки единых критериев оценки заданий. Методические указания содержат программу, перечень важнейших изучаемых тем учебного курса, для проверки знаний приведены вопросы для самопроверки, приведены темы индивидуальных самостоятельных работ. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению 12.04.03 - «Фотоника и оптоинформатика» по дисциплине «Специальные вопросы технологии приборов фотоники, голографии, интегральной и волоконной оптики»

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Специальные вопросы технологии приборов фотоники, голографии, интегральной и волоконной оптики: Методические указания по самостоятельной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2019. — 40 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/9112
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2019
Количество страниц: 40
Скачиваний: 4

Оглавление (содержание)

Введение...............................................................................................................6

Раздел 1 Процесс получения материалов для электронных приборов..................7

1.1 Содержание раздела........................................................................................7

1.2 Методические указания по изучению раздела................................................7

1.3 Вопросы для самопроверки............................................................................7

Раздел 2 Кинетика технологического процесса.....................................................8

2.1 Содержание раздела........................................................................................8

2.2 Методические указания по изучению раздела................................................8

2.3 Вопросы для самопроверки.............................................................................8

Раздел 3 Межфазные взаимодействия в технологических процессах....................8

3.1 Содержание раздела........................................................................................8

3.2 Методические указания по изучению раздела.................................................9

3.3 Вопросы для самопроверки.............................................................................9

Раздел 4 Вакуумная технология..............................................................................9

4.1 Содержание раздела.........................................................................................9

4.2 Методические указания по изучению раздела.................................................9

4.3 Вопросы для самопроверки..............................................................................9

Раздел 5 Электронно-лучевая, ионно-лучевая и плазменная технология..............10

5.1 Содержание раздела.......................................................................................10

5.2 Методические указания по изучению раздела................................................10

5.3 Вопросы для самопроверки............................................................................10

Раздел 6 Специальные вопросы технологии изготовления приборов и устройств.................................................................................................................11

6.1 Содержание раздела..........................................................................................11

6.2 Методические указания по изучению раздела..................................................11

6.3 Вопросы для самопроверки...............................................................................11

Раздел 7 Процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов

фотоники, голографии, интегральной и волоконной оптики.....................................11

7.1 Содержание раздела............................................................................................11

7.2 Методические указания по изучению раздела....................................................12

7.3 Вопросы для самопроверки.................................................................................12

Раздел 8 Сервисное обслуживание установки молекулярно-лучевой эпитаксии...................................................................................................................12

8.1 Содержание раздела.............................................................................................12

8.2 Методические указания по изучению раздела.....................................................12

8.3 Вопросы для самопроверки.................................................................................12

9 Лабораторные работы.............................................................................................13

10 Практические занятия...........................................................................................16

10 Темы для самостоятельного изучения.....................................................................17

11 Индивидуальные задания для самостоятельной работы........................................18

11.1 Тематика индивидуальных заданий.....................................................................18

11.2 Порядок выполнения задания............................................................................19

11.3 Требования к отчету по индивидуальному заданию............................................20

12 Тесты для проработки материала............................................................................27 Заключение...................................................................................................................31

Рекомендуемая литература...........................................................................................32

Приложение А...............................................................................................................34

Приложение Б................................................................................................................35

Приложение В................................................................................................................36

Приложение Г.................................................................................................................37

Приложение Д................................................................................................................38

Приложение Е................................................................................................................39