Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Фотоника волноводных, нелинейных и периодических структур, очная форма обучения, ЭП
Учебный план набора 2017 года (План в архиве)
Основная литература
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный
университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с. : ил.,
табл. - Библиогр.: с. 310-313. - ISBN 5-86889-244-5
Доступно в библиотеке:
103
экземляра
Специальные вопросы технологии: учебное пособие / Л. Н. Орликов; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем
управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. -
229 с. : ил., табл
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Дополнительная литература
Технология полупроводниковых материалов [Текст] : учебное пособие / С. Е. Александров, Ф. Ф. Греков. - 2-е изд., испр. - СПб. : Лань, 2012. - 240 с.
Доступно в библиотеке:
11
экземпляров
Физико-химические процессы в технологии РЭА : Учебник для вузов / Владимир Николаевич Черняев. - М. : Высшая школа, 1987. - 375[1] с. : ил.
Доступно в библиотеке:
52
экземляра
Молекулярно-лучевая эпитаксия : учебное пособие / Л. Н. Орликов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем
управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. -
107 с. : ил., табл.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Специальные вопросы технологии приборов фотоники, голографии, интегральной и волоконной оптики
Направление подготовки (специальность): 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Фотоника волноводных, нелинейных и периодических структур
Индекс дисциплины: ФТД.2
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ЭП
Курс: 2
Семестр: 3
Учебный план набора 2017 года
План в архиве