Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 12.03.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Фотоника нелинейных, волноводных и периодических структур, очная форма обучения, ЭП
Учебный план набора 2014 года (План в архиве)
Основная литература
Барыбин А.А. Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы: учебное пособие для вузов / А. А. Барыбин - М.: Физматлит, 2006. – 423 с.
Доступно в библиотеке:
130
экземпляров
Данилина Т.И. Технология СБИС: учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Дополнительная литература
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с. :
Доступно в библиотеке:
103
экземляра
Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. – М.: Радио и связь, 1991. – 525 с. ISBN 5-03-003432-3
Доступно в библиотеке:
45
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Основы технологии оптических материалов и изделий
Направление подготовки (специальность): 12.03.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Фотоника нелинейных, волноводных и периодических структур
Индекс дисциплины: ФТД.1
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ЭП
Курс: 2
Семестр: 4
Учебный план набора 2014 года
План в архиве