Методы анализа и контроля наноструктурированнных материалов и систем, 2016

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника (очная форма обучения, ФЭ)

Учебный план набора 2013 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Год издания: 2016

Основная литература

Смирнов С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2010. - 115 с.
Доступно в библиотеке: 6 экземпляров
Смирнов С.В. Методы исследования материалов и структур электроники: учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2007. – 170 с.
Доступно в библиотеке: 96 экземпляров

Дополнительная литература

Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности: научное издание. – М.: Мир, 1989. – 564 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров
Брандон Д., Капран У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля: Учебное пособие для вузов: Пер. с англ.; ред. Пер.: С.Л, Баженов; авт. Дополнения: О.В. Егорова. – М.: Техносфера, 2006. – 377 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров
Вилков Л.В., Пентин Ю.А. Физические методы исследования в химии: Резонансные и электрооптические методы: учебник для вузов. – М.: Высшая школа, 1989. – 288 с.
Доступно в библиотеке: 1 экземпляр
Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии : Монография: Пер. с англ. / М.П. Сих [и др.]; ред.: Д. Бриггс, М.П. Сих; ред. Пер.: В.И. Раховский, И.С. Рез. – М.: Мир, 1987. – 598 с.
Доступно в библиотеке: 2 экземляра

Учебно-методическое пособие

Методы исследования материалов и структур электроники [Текст] : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104.65 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", направления 210100.62 "Электроника и микроэлектроника", направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", 210100.62 "Электроника и наноэлектроника", 210600.62 "Нанотехнология" / С. В. Смирнов, И. А. Чистоедова ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2012. - 52 с.
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров
Смирнов С.В. Методы исследования материалов и структур электроники: лабораторный практикум для студентов специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника». – Томск: ТУСУР, 2007. – 58 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Дисциплины

+

Методы анализа и контроля наноструктурированнных материалов и систем

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.11

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 4

Семестр: 7

Учебный план набора 2013 года

План в архиве