Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2014 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Дополнительная литература
Вакуумная техника. Справочник. Под ред. Е.С. Фролова, В.Е. Минайчева. - М.: Машиностроение, 1985. - 360 с.
Доступно в библиотеке:
10
экземпляров
Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: ВШ, 1990. - 320 с.
Доступно в библиотеке:
4
экземляра
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника
Индекс дисциплины: ФТД.1
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 2
Семестр: 4
Учебный план набора 2014 года
План в архиве