Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 - Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) План в архиве

Очная форма обучения, план набора 2014 г.

Изучается: 4 семестр

Цикл дисциплины: ФТД. Факультативы

Индекс дисциплины: ФТД.1

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Дополнительная литература

Вакуумная техника. Справочник. Под ред. Е.С. Фролова, В.Е. Минайчева. - М.: Машиностроение, 1985. - 360 с.
Доступно в библиотеке: 10 экземпляров
Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: ВШ, 1990. - 320 с.
Доступно в библиотеке: 4 экземляра

Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Зачёт с оценкой 4

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Лекция2626часов
Практическая работа1818часов
Лабораторная работа1616часов
Всего аудиторных занятий6060часов
Из них в интерактивной форме1010часов
Самостоятельная работа4848часов
Общая трудоемкость108108часов
33З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-8 способностью выполнять работы по технологической подготовке производства материалов и изделий электронной техники
ПСК-2 готовностью к применению современных технологических процессов и технологического оборудования на этапах разработки и производства изделий микроэлектроники и твердотельной электроники